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        產品說明 / Product Description位置: 首頁 > 產品說明 > 單晶硅長晶爐系統安全措施

        單晶硅長晶爐系統安全措施

        發布者:晶泰電器發布日期:2017-06-27點擊量:1540

        單晶生長爐

        1、流量開關---如果低流量切斷加熱器開關激活(30秒)
        2、熱敏開關(11處)--警報
        3、爐內高/低壓力,包括真空泵不起作用了—警報
        4、籽晶提升行程上下限位—切斷馬達
        5、坩堝提升行程上下限位—切斷馬達
        6、生長爐內過壓保護—機械泄壓(三個位置:真空管道、副真空管道、底板上腔體分離)
        7、所有直流和交流的電流保護—空氣斷路器
        8、液壓升降—當加熱器打開時無效
        9、加熱器電源—當單晶生長爐打開時無效
        10、爐筒提升—當拉升腔/爐蓋未完全搖擺到一邊時無效
        11、液壓系統回流保護—如果失去控制就要停止流動
        12、液壓泵的三相電源超載防護(包含真空泵)--可復位的斷路器
        13、不間斷的電源供應器(UPS)---保護生長爐控制系統組件
        14、四個馬達驅動過電流保護---電子保護和熔斷保護
        15、緊急應急系統面板(開關板設置)-在PLC出現故障時提供多種控制項目,包括加熱器功率、氣體和真空閥、氣體流量、坩堝/籽晶的位置、提升/旋轉速率
        16、模擬板-即使在控制臺監測失敗時,圖形顯示閥門狀態、水量、氬氣供應和過熱位置
        17、機械式真空計—測量室內的壓力,當PLC、觸摸屏或者電源故障時(若隔離閥關閉,只顯示爐筒壓力)
        18、氬氣旁通閥門—當功率出現問題時,允許氬氣進入槽內
        19、氣動真空管路閥---斷電時防止真空泵油回流及腔體倒吸
        20、爐蓋安全鎖—防止爐內壓力過大時噴出外面
        21、隔離閥鎖—保持隔離閥處在開啟的狀態
        22、隔離閥協助彈開---松懈地關閉隔離閥
        23、氬氣壓力開關—廠務低壓力警報
        24、信號隔離—在所有的數碼和模擬輸入和輸出
        25、15伏特的電源供應電流---電子防護
        26、24伏特的電源供應電流---電子防護
        27、爐蓋擋板—使爐筒/拉升腔在爐身上連接成一體
        28、爐筒導向定位桿—防止爐筒搖晃到熱場
        29、隔離閥位置開關—提供閥門位置反饋給控制系統
        30、籽晶提升軟件限制---當籽晶行程到達限制后切斷馬達
        31、壓縮空氣開關—廠務低壓力報警


        加熱器電源供應器(典型的)
        主電力變壓器輸入超負載的防護---關閉單元
        主電力變壓器輸出超負載的防護—熔斷保險絲,變壓器二次側
        熱敏開啟主電力變壓器—關閉單元。
        熱敏開啟功率半導體元件—關閉單元
        電源過電流保護—警告,
        接地保護—警告,切斷電源輸出


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