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        浙江晶泰半導體有限公司 致力于半導體設備領域里開創新局面!

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        服務熱線:0577-62723111

        產品詳情 / Product Details位置: 首頁 > 晶泰產品 > YTC260-MCZ電子級單晶爐

        主要性能指標


        爐室資料Puller Data
        坩堝直徑Crucible  diameter:22〞- 28〞
        單晶直徑Crystal diameter:8〞- 16〞(200-400mm)
        裝料量Charge size:120-280kg
        喉管直徑Throat Diameter:16 ”(410mm)
        主爐膛內徑Main furnace Diameter:¢1200mm
        主爐膛高度Main furnace Height:1500mm
        爐門開口尺寸Pull Chamber Door Opening:17〞×93〞(450mm×2373mm)
        主真空泵抽速Vacuum Pumps-Main:221 cfm (6,260 l/min)
        輔助真空泵抽速(Recommended) Aux:60 cfm (1,700 l/min)
        排氣方式Exhaust:底排氣 Exhaust end
        副室類型Deputy room type:全開門 Full-door
        爐蓋類型Lid Type:斜頂 Inclined top 
        磁場類型Field type:勾型、水平型(可選)hook type, horizontal type (optional)
        有導流筒提升、激光測距、CCD控徑
        There draft tube upgrade, laser ranging, CCD control path
        可提供二次加料providing secondary feed


        坩堝驅動單位Crucible drive unit
        提升速度Lifting speed:0-4.7 in/hr (0-120 mm/hr)
        最快提升速度Crucible Jog Speed:(>120 mm/min)
        行程Stroke:18〞(457 mm)
        轉速Rotation speed:0-20 rpm(可逆)


        晶驅動單位 Crystal drive unit
        提升速度Lifting speed:0-20 in/hr (0-508 mm/hr)
        快速提升速度Seed Jod Speed:20 in/min (508 mm/min)
        轉速Rotation speed:0-30 rpm(可逆)


        廠務要求Utilities
        電源電壓(Source Voltage):380V±10%
        頻率(Frequency):50/60 Hz
        加熱功率(Heating Power):IGBT 200KW底部加熱50KW
        環境溫度(Ambient Temperature):5~40
        相對濕度(Relative Humidity):<70%
        入口端最高水溫(Maximum Inlet Temperature): 77°F (25℃)      
        最小流量(Minimum Flow Rate):95 gpm (360 l/min) total
        入口出口壓力差(Diff. Supply Pressure):30 psi (2.1kg/cm2)  
        主氬氣流量(Mass Flow Control(Max.):200 slpm
        吹掃流量(Purge Flow):100 slpm
        合計(Facility Total):300 slpm
        推薦壓力Recommended Supply Pressure:75 psi (5.3 kg/ cm2)
        壓縮空氣(Air)
        推薦壓力Recommended Supply Pressure:90 psi (6.3 kg/ cm2)


        控制系統System Control
        自動過程Automatic process
        標準PLC/PC控制control by PLC/PC. Equipped as standard


        外形尺寸Dimensions(approx.)
        總高度 (closed):7022 mm
        寬 Width (W):2270 mm
        深 Depth (D):3090 mm


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