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        浙江晶泰半導體有限公司 致力于半導體設備領域里開創新局面!

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        產品詳情 / Product Details位置: 首頁 > 晶泰產品 > YTC1200光伏級單晶爐

        YTC1200光伏級單晶爐

        主要性能指標


        爐室資料Puller Data
        坩堝直徑Crucible Diameter:22”-32”  
        單晶直徑Crystal Diameter:8”-12”
        裝料量Charge Size:450 kg
        爐筒直徑Vessel Diameter:1200 mm
        喉管直徑Throat Diameter:355mm


        坩堝驅動單位Crucible drive unit
        提升速度Lifting Speed:0-10 in / hr(0-254mm/hr)
        最大行程Total Crucible Travel: 20”( 508 mm)
        轉速Rotation Speed:0-20 rpm(std option)最大可達30rpm


        籽晶驅動單位 Crystal drive unit
        提升速度Lifting Speed: 0-20 in / hr(0-508mm/hr)
        轉速Rotation Speed: 0-50 rpm


        廠務要求Utilities
        電源電壓(Source Voltage):380 V±10%
        頻率(Frequency):50 Hz
        加熱功率(Heating Power):250 KW預留雙加熱器
        環境溫度(Ambient Temperature):5~40
        相對濕度(Relative Humidity):<70%
        入口端最高水溫(Maximum Inlet Temperature):25℃
        最小流量(Minimum Flow Rate):350 L/min
        入口出口壓力差(Diff.Supply Pressure):>1.5kg/cm2
        主氬氣流量Mass Flow Control(Max.):200 slpm
        吹掃流量(Purge Flow):100 slpm
        合計(Facility Total):300 slpm
        推薦壓力(Recommended Supply Pressure):>4.5 kg/cm2 
        壓縮空氣(Air)
        推薦壓力(Recommended Supply Pressure):>5.5 kg/cm2

        控制系統System Control
        全自動生長控制過程Automatic Growing Control Process
        標準PLC/PC控制Control by PLC / PC:equipped as standard


        選項Options  
        多晶硅進料系統 Polysilicon Feeding System
        真空泵Vacuum Pumping          
        真空過濾系統Vacuum Filter System
        取晶車 Crystal Cart
        坩堝裝卸系統 Crucible Handing System


        外形尺寸Dimensions(approx.)
        總高度 (closed):8,784.6 mm
        寬 Width (W):1,580 mm
        深 Depth (D):2,150 mm


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