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        浙江晶泰半導體有限公司 致力于半導體設備領域里開創新局面!

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        服務熱線:0577-62723111

        產品詳情 / Product Details位置: 首頁 > 晶泰產品 > YTC6000電子級單晶爐

        主要性能指標


        爐室資料 Puller Data
        坩堝直徑 Crucible  diameter:14〞- 18〞
        單晶直徑 Crystal diameter:4〞- 8〞
        裝料量 Charge size:60 kg
        喉管直徑 Throat Diameter:10 ”(254 mm)
        主爐膛內徑 Main furnace Diameter:¢1120 mm
        主爐膛高度 Main furnace Height:1480 mm
        爐門開口尺寸 Pull Chamber Door Opening: 11”×68”(280 mm×1727 mm)
        主真空泵抽速 Vacuum Pumps-Main:221 cfm (6,260 1/min)
        輔助真空泵抽速(Recommended) Aux:60 cfm (1,700 1/min)
        排氣方式Exhaust:底排氣Exhaust end
        副室類型Deputy room type:全開門Full-door
        爐蓋類型Lid Type:穹頂Dome
        磁場類型Field type:勾型、水平型(可選)hook type, horizontal type (optional)
        有導流筒提升、激光測距、CCD控徑
        There draft tube upgrade, laser ranging, CCD control path
        可提供二次加料providing secondary feed


        坩堝驅動單位 Crucible drive unit
        提升速度 Lifting speed:0-10 in/hr (0-254 mm/hr)
        最快提升速度 Crucible Jog Speed:2.0 in/min (50.8 mm/min)
        行程Stroke:11.5〞(292 mm)
        轉速Rotation speed:0-20 rpm


        籽晶驅動單位 Crystal drive unit
        提升速度 Lifting speed:0-20 in/hr (0-508 mm/hr)
        快速提升速度 Seed Jod Speed:20 in/min (508 mm/min)
        轉速 Rotation speed:0-50 rpm


        廠務要求 Utilities
        電源電壓(Source Voltage):380 V±10%
        頻率(Frequency):50/60 Hz
        加熱功率(Heating Power):260 KW底部加熱5 0KW
        環境溫度(Ambient Temperature):5~40
        相對濕度(Relative Humidity):<70%
        入口端最高水溫(Maximum Inlet Temperature):77°F (25℃)      
        最小流量(Minimum Flow Rate):78 gpm (295 1/min) total
        入口出口壓力差(Diff. Supply Pressure):30 psi (2.1 kg/cm2)  
        主氬氣流量(Mass Flow Control(Max.)):200 slpm
        吹掃流量 (Purge Flow):100 slpm
        合計(Facility Total):300 slpm
        推薦壓力 Recommended Supply Pressure:75 psi (5.3 kg/cm2)
        壓縮空氣(Air)
        推薦壓力 Recommended Supply Pressure:90 psi (6.3 kg/cm2)


        控制系統 System Control
        自動過程 Automatic process
        標準PLC/PC控制 control by PLC/PC. Equipped as standard


        外形尺寸 Dimensions(approx.)
        總高度 (closed):5,109mm
        寬 Width (W):1,702mm
        深 Depth (D):1,302mm


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